Слово эпитаксия имеет такое значение:
— ориентированный рост одного кристалла на поверхности другого;
— ориентированный рост одного монокристалла на поверхности другого;
— процесс полупроводниковой технологии, осаждение из газа монокристаллического слоя на подложке из такого же или иного кристалла;